インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー「300NL/minの大流量タイプ」
『ファインピュアラー FPH-300』は、水素ガスの各種不純物（CO,CO2,O2,H2O）を1ppb以下へ純化します。 流量範囲は～300NL/minです。0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。 再生することにより繰り返し使用可能です。 【特長】 ■徹底したコスト管理 ■3週間で納品可能（国内製造） ■低コストで長期間使用可能 ■再生可能 ■インライン型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品仕様(一部)】 ■適用ガス：H2 ■除去対象不純物：CO, CO2,O2, H2O ■原料ガス純度：5Nガスボンベ相当以上 ■精製ガス中不純物濃度各除去対象成分：1ppb未満 ■使用圧力：0.2MPaG以上 0.97MPaG以下 ■最大圧力：0.97MPaG ■最大流量：300NL/min ■使用温度：常温（環境及びガス温共に） ■寿命・精製量： 6,000Nm3 ■材質（ケーシング） ：SUS316L EP ■寸法：Φ76.3mm×L667.6mm ■接続口径：1/2インチ VCR継手（オス） ※暫定参考値ですので変更される場合があります ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■分析計用キャリアガス、ゼロガス ■半導体製造装置、CVD装置 ■高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス ■溶接用シールドガス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
大阪ガスリキッド株式会社は、大阪ガスの100％子会社として1991年に設立しました。 大阪ガスが輸入する液化天然ガス（LNG）の冷熱を利用した産業ガスやドライアイスの製造・販売を中心に、液化窒素を活用した低温粉砕や産業ガス関連技術の開発などの事業をグループ各社とともに展開しています。