スロットは13枚!金型による製品の安定した品質を提供
『FB20A106』は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX FB-0430系 材料を使用し、後工程での薄ウエハ(Backgrinded Wafer)用キャリアとして 設計した13枚スロットキャリアです。 従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の 安定した品質を提供。 さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを20.15mmに延長しています。 【仕様】 ■スロット:13枚 ■外形寸法:全長(A1)214.74mm×フランジ外幅(A2)240mm×全高(A3)219.06mm ■D1寸法:34.93mm ■溝ピッチ:12.7mm ■ハンドル:有り(識別用マーカー取り付け穴付き)・無し ■材料:標準材(FB-0431)・耐熱材(FB-0432) ※2022年4月以降は、新グレードFB-0437材での製品出荷 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

