微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ
半導体・センサ・パッケージング分野では、微細化・高集積化の進展により、装置に求められる位置決め精度と動作の安定性は年々厳しさを増しています。特に、ダイボンディングやワイヤーボンディング、検査・測定工程においては、わずかな位置ズレや振動が、接合不良や検査誤判定の原因となり、歩留まり低下につながります。こうした工程では、高精度で再現性の高い直線動作を安定して行える駆動機構が不可欠です。HIWINの単軸リニアモーターステージは、滑らかな直線動作と高い位置決め再現性を兼ね備え、半導体・センサ製造工程における装置性能の安定化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ダイボンディング工程でのチップ位置決め ・ワイヤーボンディング前後の高精度アライメント ・センサ素子・MEMSデバイスの位置決め・検査 ・パッケージ外観検査・寸法測定装置 【導入の効果】 ・微細工程での位置ズレ・ばらつき低減 ・繰返し精度の安定による歩留まり向上 ・高速かつ安定した動作によるタクトタイム短縮 ・装置の安定稼働による再調整・手直し工数の削減
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基本情報
【特長】 ・高速・高精度な直接駆動のリニアモーターを採用 ・長ストローク用途に対応 ・メタルカバーやダストジャケット、その他オプション部品による防塵対応 ・水平or垂直のケーブルベア対応で、配線もすっきり ・自社製のキーコンポーネントを使用 【当社の強み】 HIWINは、世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するため、製品開発に注力しています。世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績があり、お客様の競争力向上に貢献します。自社製のキーコンポーネントを使用し、高性能・コストパフォーマンスの良さを実現します。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体、FPD、医療機器、工作機械、電子部品等の幅広い産業分野において、光学検出、レーザー処理、プラスチック材料コーティング、金属処理、その他自動製造装置などの技術に応用されています。
カタログ（3）
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CADデータ（9）
| 型番 | 概要 | ファイル |
|---|---|---|
| 【LMS】NPS | ナノ精度単軸ステージ（リニアモータ/ACサーボモータ） |
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| 【LMS】LMX1C | 標準型リニアモータ 単軸ステージ |
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| 【LMS】LMX1A-SA3x(L) | 標準型リニアモータ 単軸ステージ |
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| 【LMS】LMX1A-SA2x(L) | 標準型リニアモータ 単軸ステージ |
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| 【LMS】LMX1A-SAxx | 標準型リニアモータ 単軸ステージ |
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| 【SSA】SSA18 | SSAシリーズ：単軸リニアモータ位置決めステージ |
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| 【SSA】SSA18 | SSAシリーズ：単軸リニアモータ位置決めステージ |
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| 【SSA】SSA20 | SSAシリーズ：単軸リニアモータ位置決めステージ |
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| 【SSA】SSA20 | SSAシリーズ：単軸リニアモータ位置決めステージ |
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企業情報
HIWIN（ハイウィン）は台湾、台中に本社（資本金約160億円、従業員約6,400名）を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界12か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。（ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得） また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。
