チルト機構付ステージ
積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。 ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。 一体弾性ヒンジによる精密動作。 ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
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基本情報
*MTL-F1 、MTL-F1S （ミラーなし） *MTL-F1M1、MTL-F1SM1（ミラーφ12.5含む） *MTL-F1M2、MTL-F1SM2（ミラーφ25含む） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
価格帯
納期
用途／実績例
チルト機構付ステージ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
企業情報
ピエゾアクチュエータによる精密位置決め装置の専門メーカーです。当社のピエゾドライバ・ピエゾステージは全て自社開発品です。 ピエゾに熟知した技術者により開発された製品は、皆様のお役に立てると確信しております。 精密位置決めシステムについて、お困りのお客様は、是非一度、メステックにお問合わせ下さい。
