半導体製造における高精度位置決めを、摩擦抵抗ゼロで実現。
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。 特に、微細加工や検査工程においては、わずかなズレが不良品の発生につながる可能性があります。 ACS-4-5は、摩擦抵抗ゼロのエアベアリング技術により、高精度な位置決めと滑らかな動作を実現し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 * 半導体製造装置（ウェーハハンドリング、マスクアライメントなど） * 精密加工機 * 検査装置 【導入の効果】 * 高精度な位置決めによる品質向上 * 装置の小型化・軽量化による省スペース化 * 生産効率の向上
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
【特長】 * 業界最小・最軽量クラスのコンパクトサイズ * エアベアリング技術による摩擦抵抗ゼロ * 高精度な位置決めと滑らかな動作 * 幅広いストロークバリエーション * 高い耐久性と信頼性 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット（複合化）技術を活かした製品の製造・販売を通じて、お客様の多様なニーズに応えてきました。長年の経験と技術力で、お客様の課題解決に貢献します。
価格情報
数量により価格は変動いたします。30個/ロットで8万円/1個程となります。詳細はお問い合わせください。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
※約3か月ほどになります。詳細はお問い合わせください。
用途／実績例
半導体製造装置や医療機器、光学機器調整、計測・分析機器など、高度な精密制御が求められる分野
詳細情報
-
シリンダ推力ヒステリシスについて 藤倉ゴム製BFシリンダ（φ20）と、エアベアリングシリンダ（φ20）のシリンダ推力ヒステリシスを示した図です。各シリンダの推力ポートにそれぞれ200[kPa]のエアーを印加した状態で、ロッドをストローク（往復）させた際のシリンダ推力を示しています。ロッドストロークは最大伸張時からの収縮量を示しています。 ストロークを往復させた際の推力差が摺動抵抗を示しています。
カタログ（5）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。
