炉内雰囲気ガスの水分を除去し、半導体製造の品質向上に貢献
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおける微量な水分管理が重要です。特に、炉内雰囲気ガス中の水分は、製品の歩留まりや信頼性に悪影響を及ぼす可能性があります。TKZH008電子冷却式ドライヤーユニットは、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、製造プロセスにおける品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における炉内雰囲気ガスの精密乾燥 ・露点管理が必要なガス供給ライン ・クリーンルーム内での使用 【導入の効果】 ・製品の歩留まり向上 ・製品の信頼性向上 ・製造コストの削減
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基本情報
【特長】 ・オールインワン設計で、フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵 ・軽量・コンパクト設計で、持ち運びが容易 ・オートドレン機能により、サンプリングから排水まで1台で完結 ・0.1～5 L/minの幅広い流量に対応 ・100 VAC電源対応 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた水分計測技術を活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品を提供します。露点計だけでなく、関連製品との組み合わせによるトータルソリューションもご提案可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
・炉内雰囲気ガス分析前の除湿 等
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企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
