炉内雰囲気ガス測定による不純物制御に貢献
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、炉内雰囲気ガスの厳密な管理が不可欠です。特に、露点、酸素濃度、水素濃度などの不純物は、半導体デバイスの性能に悪影響を及ぼす可能性があります。これらの不純物を適切に制御することは、高品質な製品を安定的に製造するために重要です。炉内雰囲気計測制御盤 TKZM-ROは、露点、酸素濃度、水素濃度の測定を一台で行い、半導体製造プロセスにおける不純物制御を支援します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける炉内雰囲気のモニタリング ・不純物による製品不良の抑制 ・製造プロセスの最適化 【導入の効果】 ・高品質な半導体製品の安定供給 ・歩留まりの向上 ・製造コストの削減
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基本情報
【特長】 ・露点、酸素濃度、水素濃度の測定 ・1-3ラインのサンプルラインのガス測定 ・豊富なオプションによる客先ニーズに合わせた形状、フロー変更が可能 ・オプション品の盤クーラーで高温環境下が可能 ・炉内雰囲気測定盤 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた技術とノウハウを活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品を提供します。露点計TK-100シリーズをはじめ、様々な計測器・装置を取り扱っており、複雑な問題にも迅速に対応いたします。校正・点検・修理サービスも提供し、製品の安定稼働をサポートします。
価格情報
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納期
用途／実績例
■ 炉内雰囲気等(チャンバー/試験槽内雰囲気） ■ 露点・酸素・水素測定
企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
