摩擦ゼロ、発塵ゼロ。半導体製造に最適なエアベアリングシリンダ
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・精密研磨装置 ・半導体製造装置の位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めを実現 ・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献 ・クリーンルーム環境に対応
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基本情報
【特長】 ・摩擦抵抗ゼロ ・発塵ゼロ ・高精度な位置決めが可能 ・クリーンルーム対応 ・自由設計によるカスタマイズ対応 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット技術を活かした製品を提供しています。エアシリンダをはじめとする流体制御機器の開発・製造を通じて、お客様の課題解決に貢献します。お客様のニーズに合わせた自由設計による特殊対応も可能です。
価格情報
数量によって価格が変動しますのでお気軽にお問い合わせください。
納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。)
用途／実績例
精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 加工ヘッド部・センサヘッド部の自重キャンセル（バランサー） ⇒液晶貼り合わせ、三次元測定機 ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 ● テンションコントロール ⇒高機能ファイバー加工機向け 弊社レギュレーター【RS】【RS.M/S】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります。
カタログ（4）
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企業情報
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。
