盤への埋め込みに最適。薬液管理の流量を精密に測定。
半導体製造における薬液管理では、薬液の正確な流量制御が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。薬液の流量が不適切であると、ウェーハの洗浄不良やエッチングの不均一性など、様々な問題が発生し、最終製品の性能に悪影響を及ぼす可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対し、精密な流量測定と盤への容易な組み込みで貢献します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液供給ライン ・各種ガス供給ライン 【導入の効果】 ・薬液流量の精密なモニタリングによる品質向上 ・盤内スペースの有効活用 ・RoHS指令対応による環境負荷低減
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基本情報
【特長】 ・低価格の小型高精度面積式流量計 ・リーク度も少なくppmレベルのガスにも対応可能 ・盤への埋め込みに適したパネル埋め込みタイプ ・小型かつシンプルな構造で設置が容易 ・RoHS指令対応品 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。流量計だけでなく、関連する計測器や装置との組み合わせによる最適なソリューションを提供し、複雑な問題にも迅速に対応します。
価格帯
納期
用途／実績例
● パージエアー/窒素 ● 計測器への流量管理 他多岐にわたる
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企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
