各種ガス中の微量な水分やガス濃度を測定!
半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・高純度ガス製造時の品質保証 ・ボンベ充填時のガス品質確認 ・バルク輸送や中継点でのガス品質管理 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・測定時間の短縮 ・生涯コストの削減
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基本情報
【特長】 ・高性能CRDSテクノロジーを採用 ・校正不要 ・小流量での高応答速の計測が可能 ・広範囲な測定が可能 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた計測技術と、お客様のニーズに合わせたオーダーメイドの製品提供、迅速な対応が可能です。
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用途/実績例
・溶接用 ・医療用 ・産業用 ・高純度ガス製造時の品質保証からボンベ充填まで ・その他バルク輸送や中継点への搬送時 等
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国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。






