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【半導体向け】digiVIT 渦電流式変位センサ

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digiVIT

最終更新日:2026年03月13日

三協インタナショナル株式会社
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ボタン一つで感度調整・出力変換可能な変位センサ

半導体製造業界では、ウェーハや基板の位置決めにおいて、高精度な測定が求められます。特に、微細加工や組み立て工程においては、ミリ単位以下の正確な位置制御が、製品の品質と歩留まりを左右します。不正確な位置決めは、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。digiVITは、高精度な測定と容易な操作性を両立し、半導体製造における位置決めニーズに応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送ロボットの位置検出 ・半導体製造装置の精密位置制御 ・基板実装機の位置調整 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・容易な操作による作業効率の改善 ・多様な出力オプションによる柔軟なシステム構築

    試験機器・装置
uzuden_digivit_gaiyo

【半導体向け】digiVIT 渦電流式変位センサ

uzuden_digivit_gaiyo (1).jpg
uzuden_digivit_gaiyo (1).jpg
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基本情報

【特長】 ・精度0.1%FS (分解能0.001%FS) ・アンプ側のボタン操作で即校正可能。 ・8種類のセンサを接続可能 ・磁性体/非磁性体、どちらも測定可 ・高精度且つ、容易な操作 【当社の強み】 電子部品・センサの輸入商社として50年、お客様のニーズに合った製品を追求し、供給してまいりました。アフターケアを充実させ、お客様からの信頼を得られるよう努めています。

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用途/実績例

[アプリケーション] ・位置、振動、近接の検出 ・部品の選別 ・プロセス制御 ・研究、開発 ・エンジンテスト ・モニタリング

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