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【半導体製造向け】SiO2(石英)リング

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最終更新日:2026年03月18日

株式会社スパッタコア 本社
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高温環境に耐える!半導体製造に最適な石英リング

半導体製造業界では、高温環境下での精密な工程管理が求められます。特に、熱処理やエッチングなどのプロセスにおいては、部材の熱膨張や歪みが製品の品質を左右する重要な要素となります。SiO2(石英)リングは、高い耐熱性と寸法安定性を持ち、これらの課題に対応します。これにより、歩留まりの向上と安定した品質の製品製造に貢献します。 【活用シーン】 ・高温環境下での半導体製造プロセス ・熱処理工程 ・エッチング工程 ・精密部品の保護 【導入の効果】 ・高い耐熱性による安定した品質 ・寸法安定性による精密な工程管理 ・歩留まりの向上 ・製品の信頼性向上

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【特長】 ・純度>99.9995% ・密度(2.6g/cm³) ・製造方法:焼結法 ・図面通り生産可能 ・表面サテン仕上げ 【当社の強み】 当社は、スパッタリングターゲット、ボンデイングサービスにおいて世界トップレベルの技術をもつ日系中国現地法人工場を長年の経験を持つエンジニアを共に継承した蘇州テクノテック光電材料有限公司と緊密な協力関係を築いております。この連携により高品質でコストに優れた製品・サービスとともに、お客様ニーズを的確に捉え、最適で最高レベルの製品・サービスをご提供します。当社はお客様事業の発展を第一に考え、創造性と技術力を最大限に活かしお客様へ新たな価値をご提供していきます。

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半導体製造工程のほか、光学機器、化学実験装置、医療機器など

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SiO2(石英)リング【酸化物ターゲット】

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