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Smooth flow pump(スムーズフローポンプ)

最終更新日:2026年04月23日

株式会社タクミナ
株式会社タクミナ
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半導体製造の薬液供給に最適!金属コンタミレスな高精度ポンプ

半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。 【活用シーン】 ・薬液注入 ・長距離配管・高揚程移送 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・製造コストの削減

    その他ポンプ容積型ポンプその他 ポンプ
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【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

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基本情報

【特長】 ・材質制限に対応:二次電池製造で禁忌とされる材質を接液部および外装に使用していません(モータ部除く)。 ・高精密供給により塗ムラを防ぐ:脈動を無くし、均一な膜厚形成に貢献します。 ・塗工液の高品質を保持:金属コンタミ混入による品質低下を防ぎます。 ・高粘度・高圧でも変わらない吐出性能:吐出量が安定し、正確な自動制御運転が可能です。 【当社の強み】 株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニーです。創業から67年を超える歴史があり、お客様の課題を解決する流体ソリューションを提供しています。研究開発から製造プロセスまで、最適なシステムをご提案します。

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株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。

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