半導体製造における位置決めを精密・高速に実現！
半導体製造業界では、製造プロセスの精度向上が求められています。特に、ウェーハやチップの位置決めは、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。ボイスコイルモータは、短いストロークを精密・高速に制御できるため、高精度な位置決めが可能です。 【活用シーン】 ・半導体製造装置におけるウェーハ搬送 ・露光装置におけるマスク位置決め ・検査装置におけるチップ位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・高速動作による生産性向上 ・スムーズな動作による製品へのダメージ軽減
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基本情報
【特長】 ・短いストロークを精密･高速･スムーズに制御できる ・高性能磁石採用を採用し、小型化・高トルクを実現 ・軽量で、コギングが無く、推力リップルが小さい 【当社の強み】 特殊鋼機械加工及び熱処理工場を保有し、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。高性能各種制御機器の輸入代理店として、日本国内での販売活動を行っており、技術的なサポートも提供可能です。
用途／実績例
【用途例】 ■ステージ用のアクティブ除振システム ■高速駆動と高精度な位置決めが必要となる分野 ・例：チップマウンタのヘッド、光学素子のフォーカシング、ワイヤーボンダー、レンズ駆動など ■微妙な加圧制御が必要となる分野 ・例：部品実装機、研磨機など ■高応答性が必要となる分野 ・例：振動試験機、バルブ制御など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
特殊鋼機械加工及び熱処理工場を保有します。 高性能各種制御機器の輸入代理店となり日本国内で販売活動も行っています。 先端エレクトロニクス材料・製品全般を扱っています。永久磁石、軟磁性材、その他海外を含め、特徴のある制御製品をお届け致します。
