【半導体成膜向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

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最終更新日：2026年04月01日

千代田交易株式会社

重量物も引取納品！緊急時も安心の予備機種多数保有

半導体成膜プロセスにおいて、真空ポンプの安定稼働は、高品質な薄膜形成に不可欠です。真空ポンプの不調は、成膜不良や装置停止につながり、生産効率を著しく低下させる可能性があります。特に、成膜プロセスは高度な真空環境を要求されるため、真空ポンプのメンテナンスは非常に重要です。真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』は、メーカー対応終了品の対応、エクスチェンジ、レンタル対応等多様な対応で貴社の生産安定に協力します。【活用シーン】・成膜装置の真空ポンプメンテナンス・装置停止時の緊急対応・メーカー対応終了品の修理【導入の効果】・成膜プロセスの安定化・装置停止リスクの低減・生産効率の向上

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基本情報

【特長】・必要に応じた現地メンテナンス等柔軟な対応が可能・予備機種を多数保有・様々なメーカーのCRYO・コンプレッサーの修理が一括可能・引き取り納品が可能(作業のお手間を削減) ・多種類の予備機種の保有があり、緊急対応が可能【当社の強み】 CHIYODAにはものづくりに欠かすことのできない装置部材から修理サービス、環境貢献商品まで、製造業のお客さまであれば、必ずなんらかの形で貢献できる商品ラインナップがあります。