250℃までの高温環境に対応！プロセス制御に最適な光ファイバー
半導体製造業界のプロセス制御では、高温環境下での精密な温度測定が求められます。特に、ウェーハ製造やアニール工程など、高温にさらされる環境下での正確な温度管理は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。従来の光ファイバーでは耐熱性の問題から、測定が困難なケースがありました。当社の多用途耐熱光ファイバーは、250℃までの高温環境に耐え、安定した測定を実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程での温度測定 ・アニール工程での温度監視 ・高温環境下でのプロセス制御 【導入の効果】 ・高温環境下での正確な温度測定が可能 ・製品の品質向上と歩留まりの改善 ・プロセスの最適化によるコスト削減
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基本情報
【特長】 ・耐熱温度250℃ ・3種類の透過波長を選択可能（180～850nm,250～1200nm,400～2400nm） ・ステンレス保護管付き ・大口径400μmコア ・最小曲げR100R 【当社の強み】 高品質・高精度な計測機器を短納期・低価格で提供。放射温度計、メーターリレー、サーモグラフィー等の精密機器製造および販売の実績があります。
価格情報
波長・長さによって価格が異なりますので、お気軽にお問い合わせください。
納期
※数量によって納期が変動致しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
雰囲気温度が高い所での計測を必要とされる場合 ・温度計測 ・スペクトル分析 ・厚さ計測
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企業情報
主力商品の放射温度計は高速応答で微小面積測定が出来、ガラス越しの測定も可能です。温度範囲も低温から高温まで広くて様々な用途に使えます。特に真空チャンバー内のワーク測定や高周波過熱、製造ラインを移動している物体の測定には最適です。 メーターリレーはアナログ式で低価格・短納期で提供しております。
