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【半導体製造向け】窒化アルミニウム(AlN)加工事例

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最終更新日:2026年05月28日

株式会社トップ精工
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高温下(非酸化雰囲気中)で使える窒化アルミニウム(AlN)の加工事例

半導体製造業界では、高性能化に伴い、部品の放熱性能が重要視されています。 特に、高温環境下での安定した動作や、精密な温度管理が求められる場面では、高い熱伝導率を持つ素材が不可欠です。 不十分な放熱は、部品の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。 弊社は高温下(非酸化雰囲気中)での使用に耐えうる窒化アルミニウム(AlN)の加工事例を紹介しており、高い熱伝導率を活かした部品製造でお客様の課題解決をサポートします。 【活用シーン】 ・高温下での使用が想定される半導体製造装置部品 ・ヒーター部材 ・放熱板 【導入の効果】 ・部品の効率的な熱伝導による性能維持 ・高温環境下での安定動作の実現 ・製品の信頼性向上

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【半導体製造向け】窒化アルミニウム(AlN)加工事例

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【特長】 ・最高使用温度が高く、高熱伝導性を有する ・熱伝導率が高く、効率的に熱を伝達・放熱する ・線膨張係数が低く、耐熱衝撃に強い ・酸性ガスやプラズマに対する耐性がある 【弊社の強み】 ファインセラミックス、石英ガラス、高融点金属の高精度・3次元形状加工を、最新の工作機械と蓄積された技術の融合によって実現しています。 「鉄に加工できて、他の素材に加工できないことはない」をモットーに、2001年の創業以来、技術の蓄積をしてきました。 アルミナ、窒化アルミ、石英、タングステン、モリブデン等様々な素材の加工に対応可能です。 絶縁性、耐熱性、耐摩耗性など、必要なご用途に合わせた最適な材質をご提案し、短納期・高品質にてご提供させていただきます。 現在はホットプレス機を導入し、接着剤を使用しない直接的な接合にも取り組んでいます。 半導体製造装置を筆頭に、航空機、医療、精密機器、分析機器、自動車や原子力・核融合発電といった多くの産業において、弊社の精密加工部品が使用されています。 3軸・5軸CNCマシニングセンタを主体に、各種加工機あわせて100台以上保有しています。

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用途/実績例

【用途】 ■高温下で高い熱伝導が必要な部品 ■ヒーター部材 ■放熱板 ■高温の酸性ガス雰囲気下の部品 ■プラズマ雰囲気下の部品 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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「鉄に加工できて、他の素材に加工できないことはない」をモットーに、2001年の創業以来、技術の蓄積をしてきました。 アルミナ、窒化アルミ、石英、タングステン、モリブデン等「この素材にこんな加工ができないか」とお困りでしたら、是非お声がけ下さい。 絶縁性、耐熱性、耐摩耗性など、必要なご用途に合わせた最適な材質をご提案し、短納期・高品質にてご提供させていただきます。 現在はホットプレス機を導入し、接着剤を使用しない直接的な接合に取り組んでいます。 半導体製造装置を筆頭に、航空機、医療、精密機器、分析機器、自動車や原子力・核融合発電といった多くの産業において、弊社の精密加工部品が使用されています。

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