ウェハー乾燥に最適！高効率・高出力な電気ヒータで生産性向上
半導体製造業界では、ウェハーの乾燥工程において、均一かつ効率的な加熱が求められます。特に、微細な回路を持つウェハーの品質維持には、精密な温度管理とムラのない加熱が不可欠です。従来の加熱方法では、加熱効率の低さや、温度のばらつきが課題となる場合があります。当社の電気式赤外線ヒータ『Simplex Heater』は、これらの課題に対応し、ウェハー乾燥工程の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ■ウェハーの乾燥工程 ■精密な温度管理が必要な加熱プロセス 【導入の効果】 ■加熱効率の向上 ■温度ムラの低減による品質安定化 ■生産性の向上
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基本情報
【特長】 ■反射面形状により照射距離が離れても高効率 ■放熱面表面処理により放射量UP、高出力でもファン空冷で運用が可能 ■ヒータ管の変更で被加熱物に合わせた波長選定可能 ■条件によっては150kW/m2の出力、加熱効率68%も達成 ■ヒータ長さや出力のカスタマイズも可能 ■熱ムラなく加熱可能 【当社の強み】 中部電力ミライズ株式会社は、エネルギー事業を通じて培ってきた技術力と提案力を活かし、お客さまのニーズに寄り添ったソリューションを提供いたします。電気事業をはじめ、エネルギー関連の機械器具の製造・販売、熱供給事業など、幅広い事業を展開しており、お客さまのビジネスを多角的にサポートいたします。ご用命の際は、お気軽にご相談ください。
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企業情報
中部電力ミライズ株式会社は、中部電力グループの販売事業会社として、 より近いところでお客さまと向き合い、スピーディーに事業運営を 行っていくために、中部電力株式会社より分社化した会社です。 様々な社会課題の解決にお役に立てる「コミュニティサポートインフラ」を はじめとした新しい価値やサービスをお届けすることで、お客さまの 「暮らしをゆたかに」「ビジネスを支える」存在へと成長してまいります。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。
