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【半導体製造向け】 小型のエア式クーラー

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ボルテックスチューブ

最終更新日:2026年06月22日

虹技株式会社 環境エンジニアリング事業部
虹技株式会社 環境エンジニアリング事業部
  • 公式サイト

半導体製造装置の局所冷却を、もっとシンプルに。

【ボルテックスチューブ】は、圧縮空気のみで冷風と温風を生成し、局所冷却に適したエア式冷却機器。 電源・冷媒不要で簡単に導入でき、最大-47℃の冷風を供給可能。 金属製ボディで耐久性に優れ、過酷な環境でも安定稼働。可動部がなくメンテナンスフリー。 盤内冷却や工具冷却など幅広い用途に対応。

    ノズル空圧機器冷却装置
1.ボルテックスチューブ.jpg

【半導体製造向け】 小型のエア式クーラー

1.ボルテックスチューブ.jpg
1.ボルテックスチューブ.jpg
  • 関連リンク - https://www.kogi.co.jp/bumon/kankyo/transvector/vo…

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基本情報

※詳しくは関連リンク、製品カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

10万円 ~ 50万円

納期

~ 1週間

※在庫を切らしている場合は約2ヶ月前後になります。

用途/実績例

【用途】 ■局所冷却 ■空間冷却 ■温度管理 ※詳しくは関連リンク、製品をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

詳細情報

  • 図1.png

    1、ボルテックスチューブに圧縮空気を供給すると、製品内部にある特殊な部品ブッシング・ゼネレータの働きにより、空気は高速で回転を始めます。 この高速回転により発生するクーラー内部での渦流、圧縮、膨張、圧力差を利用して冷風(熱を奪われた側)と熱風(熱を奪った側)に分離します。 冷風温度、冷却熱量は、ボルテックスチューブに供給される圧縮空気の圧力、温度、風量(使用するブッシング・ゼネレータにより異なります)及びクーラーの熱風側にあるバルブで調整する冷風量、熱風量の比率(冷風比率)により決定されます。 2、安定した冷気を作り出すために圧縮空気は清浄で乾燥したエアを供給して下さい。

  • 208-15-HSS写真.jpg

    本体がステンレス製のタイプも取り扱っております。 耐摩耗性、耐酸(弱酸)性に富んでおります。 ※ただし硫酸、塩酸等には使用できません。 ※製品に一部、真鍮製の部品を使用しております。  オールSUSをお求めの場合はお問合せください。

ラインアップ(25)

型番 概要
106J-2H
106J-4H
106J-4L
106J-8H
106J-8L
116J
116E
208J-11H
208J-11L
208J-15H
208J-15L
208J-25H
208J-25L
218J
218E
308J-35H
318J
318E
328-100
208J-11HSS ステンレス製 ※都度見積
208J-11LSS ステンレス製 ※都度見積
208J-15HSS ステンレス製 ※都度見積
208J-15LSS ステンレス製 ※都度見積
208J-25HSS ステンレス製 ※都度見積
208J-25LSS ステンレス製 ※都度見積

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カタログ ボルテックスチューブ

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虹技株式会社 環境エンジニアリング事業部

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当社の環境エンジニアリング事業部は、省エネ・環境改善を目的とした エアーノズル・エアー式クーラーなどの機器を取り扱っております。 また、半導体・分析などの装置関係、制御盤、加工刃先、人体の冷却など 幅広い用途がある環境に配慮した「ボルテックスクーラー」をラインアップ。 さらに、圧縮空気の使用量を削減できる省エネの低騒音エアーノズル 「トランスベクター」も取り揃えております。

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