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ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ

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最終更新日:2026年07月10日

ITWジャパン株式会社
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脱脱炭素・環境技術の開発を支える、高精度ガス流量制御ソリューション

CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ/メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ

スクリーンショット 2026-07-09 170452.png
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基本情報

■ 製品特長 GCシリーズ 小型R&D・分析装置向け コンパクト設計で分析機器や研究設備への組み込みに最適 GFシリーズ 条件変更の多い研究・実証試験向け MultiFlo対応により、多ガス・多レンジで柔軟な評価を実現 SLAシリーズ 設備・生産プロセス向け 高い信頼性と長期安定性で産業用途のガス流量制御をサポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

ブルックスインスツルメントは、70年以上にわたり精密流体計測・制御技術を提供してきた実績を有しています。研究開発から量産設備まで、用途やプロセス条件に応じた最適なガス流量制御ソリューションをご提案し、お客様の技術開発とプロセス最適化を支援します。 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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脱炭素・環境技術の開発を、ガス流量制御が支える(ブルックスインスツルメントのソリューション)

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【選定・仕様相談ガイド】GCシリーズ(超小型MEMSマスフローコントローラ)研究開発・小型装置向け

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【新製品】GCシリーズ(超小型MEMSマスフローコントローラ)

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【製品カタログ】GCシリーズ  マスフローコントローラ

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GFシリーズ(多ガス・多レンジ評価から高純度・高温プロセスまで対応)

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SLAシリーズ(CCUS・排ガス処理・水素利用・熱処理プロセスまで対応)

SLAシリーズ(CCUS・排ガス処理・水素利用・熱処理プロセスまで対応)

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【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

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当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

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