プラズマ表面処理の常識を変える 大気圧プラズマ処理ユニット
大気圧プラズマ処理ユニットAURORAは、従来の大気圧プラズマ処理では実用化が困難だった表面処理を「業界最高クラスの高速パルス出力」と「ハイパワーかつ連続運転可能なリアクタ」で実現しました。 誘電体バリア放電（DBD）方式を採用した大気圧プラズマ処理ユニットで、銅箔やFPCなどの表面に対して濡れ性改善、精密洗浄、酸化膜の還元などの処理をインラインで行える装置です。真空チャンバーを必要とせず、大気圧下で連続処理が可能です。 リチウムイオン電池、キャパシタ、FCCL、FFC、FPC、太陽電池、シールドなどの製品に使用される銅箔（Cu）等の薄型材料処理に効果を発揮します。 また、樹脂材料フィルムなどの高速搬送の表面改質や精密洗浄用途でもご検討いただけます。
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基本情報
【仕様】 ・プラズマ点灯方式：誘電体バリア放電方式（DBD）,ダイレクトプラズマ方式 ・プラズマ点灯長： 300,600mm,1000mm（標準）特注サイズ対応可能 ・サイズ： パルス電源 (W)483mm (H)302mm (D)654mm突起部除く リアクタ (W)770mm (H) 80mm (D)75mm600mmリアクタ時、突起部除く ・ユーティリティ： 電源単相 AC200V 14A以下 ・プロセスガス： Ar,H2,O2,N2,Air 【特長】 ・独自開発のリアクタとパルス電源 業界最高クラスの高速パルス出力可能なパルス電源とハイパワーでも連続処理対応可能なプラズマリアクタを自社開発 ・高性能 能力不足で実用化が難しかった還元や高速表面処理がプラズマの高性能化により可能 ・ラインプラズマ ライン状のプラズマにより幅のあるワークに対応 ・少ないガス使用量 一般的なリモートプラズマと比較して1/10～1/100のガス使用量で処理 ・目的別処理 酸化膜除去、高速表面処理、精密洗浄など目的に合わせた処理が可能
価格帯
納期
用途／実績例
リチウムイオン電池、キャパシタ、FCCL、FFC、FPC、太陽電池、シールドなどの製品に使用される銅箔（Cu）等の薄型材料の表面処理
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企業情報
当社のコア技術である"マイクロ波"は、長年培った専門的な知識とノウハウを保有しており、お客様のご要望に沿ったオール自社開発ならではの価値ある商品とサービスをご提供いたします。 近年、生産性向上と品質向上が当社の強みで加熱、乾燥、化学反応等、多くの業界から採用頂いております。 技術のご相談やお見積りなど、お気軽にお問い合わせください。
