フォトレジストの安定送液に。0.01mL単位の精密定量ポンプ
半導体業界では、微細な回路パターン形成に不可欠なフォトレジストの精密な塗布が求められます。フォトレジストは微細な粒子を含む場合があり、その移送において流量の変動や粒子の沈降は塗布精度に影響を与える可能性があります。均一で安定した塗布を実現するためには、微量の流量でも長時間安定した送液が可能なポンプが必要です。当社のQポンプシリーズは、このような課題に対応し、フォトレジストの安定した移送を実現します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの供給 ・微量液体の精密塗布 ・研究開発における試薬供給 【導入の効果】 ・塗布精度の向上 ・歩留まりの改善 ・安定した生産性の維持
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基本情報
【特長】 ・0.01mL単位での精密な流量設定が可能 ・長期間変わらない高い送液精度 ・脈動のない連続一定流で液質変化を抑制 ・スラリー液の移送にも対応 ・空運転や異常圧力でも壊れにくい設計 【当社の強み】 株式会社タクミナは、67年以上の歴史を持つ精密ポンプの老舗メーカーです。お客様の抱える難しい課題を解決する「流体ソリューション」を提供しており、電子材料分野をはじめ、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けています。研究開発から製造プロセスまで、お客様に最適な移送システムをご提案いたします。貸出機や実液テストのご相談も承っております。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■ラボ・プロセスでの精密微量送液 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。
