FIB加工・観察・分析まで１台で完結！
Raith独自の液体金属合金イオン源（LMAIS）は、複数イオン種を同時放出する先進的テクノロジーです。 イオン種の切替えは、イオン源・アパーチャー交換はなく、ソフトウェア操作で簡単・高速に変更できます。 ◆ 重元素イオン種（Ga、Bi、Au、Ge） ✓ 重量が重く、スパッタ収率も高いため、大面積加工、極小エリアのSIMS分析に適している ✓ 任意のイオン種の局所的なイオン注入が可能 ◆軽元素イオン種（Li、Si） ✓ Gaコンタミ、ダメージのない微細加工 ✓ 最小のビーム径であるLiビームは、ナノレベルの高解像度観察を実現 ■マルチイオン 集束イオンビーム（FIB)機能 ■磁場セクター二次イオン質量分析（SIMS）機能
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基本情報
■マルチイオン 集束イオンビーム（FIB)機能 ・微細パターン形成・ナノスケール構造作製 ・断面加工・観察・3D再構築（重・軽元素を切替え、FIB単独で対応） ・Liイオン顕微鏡（SIM）観察 ※終点検出や断面解析といったFIBプロセス制御に活用できる、FIB-SEM-SIMS複合機もございます。 ■磁場セクター二次イオン質量分析（SIMS）機能 ・高感度（ppm～ppbレベル）かつ、質量分解能が高く、極微量対象物の分析が可能 ・水素・リチウムも含む、ウランまでの全元素、および同位体の分析が可能 ・イオンビームスパッタリングを活用した、深さ方向の濃度プロファイル分析に対応 ・測定対象元素に適した、マルチイオンビーム種（正イオン、負イオン）を自動選択
価格帯
納期
用途／実績例
1. 大面積ナノファブリケーション 高精度レーザー干渉計ステージ＆パターンジェネレーション連動 （Plasmonics、Nano-photonics, waveguides、Meta surfaces、3Dnano materials） 2. GaフリーTEM試料作製 3. GaBiLi源を用いた断面加工・観察＆3D再構築 4. マスクレス・イオン注入 ダイヤモンド中のSi空孔/Ge空孔などの発光構造 5. ナノポア、ナノ流路 6. SIMS分析（半導体不良解析、電池電極のLiやRbの分布評価、細胞内セリウム分布）
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企業情報
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア
