独自のセンサー技術で多様な開発や量産に対応！温度制御や質量流量制御を支える高温用MFC
当製品は、独自のセンサー技術に基づいて多様な前駆体別開発や量産対応を可能にする高温用MFCです。 コントロール部（Room Temperature）とベースユニット（High Temperature）で構成される特長的な構造を採用し、～170℃までの高温用制御に対応。さらに、200℃対応品も開発を進めています。 国産技術による製品ポートフォリオ構築の一翼を担い、質量流量制御、高温制御、混合ガス制御などのマスフロートータルソリューションを提供します。また、開発・品質管理システムの構築運営を行うPLMシステムを運営しております。 【特長】 ■独自のセンサー技術に基づき製作 ■～170℃の高温に対応（200℃対応品も開発中） ■コントロール部とベースユニットによる構成 ■多様な前駆体別開発や量産対応が可能 ■質量流量制御、高温制御、混合ガス制御を提供 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■流量範囲：300SCCM ～ 50SLM ■流量制御範囲：2 ～ 100% of Full Scale (D-Net, E-CAT, RS485) ■動作温度：90度 / 120度 / 150度 ■正確さ：≦±0.3% of Full Scale (流量 ≦ 30%)、≦±1.0% of Set Point (流量 ＞ 30%) ■応答時間：≦1.0Sec ■再現性：≦±0.2% of Full Scale ■材質：STS316L VIM VAR ＆ EP ■バルブタイプ：Solenoid ＆ Piezo V/V (N.C) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・実績例】 ■半導体（Memory、Foundry、System LSI）における制御 ■ディスプレイ（LCD, AMOLED, OLED, LED）における制御 ■エナジー（Solar Energy, Fuel Cell, Oil Refining）における制御 ■一般産業（Chemical, Measure, Ship, Steel, Medical）における制御 ■高温制御や質量流量制御、多様な前駆体のデリバリー ■質量流量制御、高温制御、混合ガス制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化（FA）分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。
