SiCをはじめとした先進コーティング用CVD/CVI装置を、研究用から産業用までご要望に合わせて設計・提供いたします。
■1つのプラットフォームで多様な材料に対応 PVA MPA Industrie社が扱う材料は、一般的な耐摩耗膜から超高温材料まで広範囲に及びます。これまでに多くのプロセスと装置が、下記のような先端コーティング材料のために顧客向けに開発されてきました。 ・TiC, TiN, Ti(C,N) ・PyC, SiC, B4C, TiB2, BN, B, Al2O3, AlN ・W, Re, ZrC, TaC, HfC ・DLC, ZnS,ZnSe ・Doped aluminizing ・TCO ■多くのカスタマイズに対応 研究用から産業スケールに至るまで多くのカスタマイズに対応します。標準装置では対応しにくい特殊形状や大型部品についても、お客様の仕様に合わせてリアクターを設計できます。
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基本情報
■システム基本仕様 -有効チャンバー径(mm) : 400, 600, 900, 1200, 1600, 2500 -最大加熱温度(℃) : 1600 (オプション 2200) -ヒーティングゾーン : 3 to 4 and more -到達圧力 (mbar) : 1～1000 -ローディング方式 : ボトムローディング
価格帯
納期
用途／実績例
■半導体産業 半導体製造装置では、高純度・高耐久性の部品が求められます。SiCコーティングや高密度セラミック部材は、厳しい熱環境や腐食性ガスにさらされる装置部品に活用されています ■航空宇宙・防衛分野 航空機エンジンや高温部材では、軽量でありながら高温、酸化、摩耗に耐える材料が必要です。SiCおよびセラミックマトリックス複合材料は、こうした要求に適した材料として注目されています。 ■次世代エネルギー 次世代原子炉向けSiC/SiC部品および核融合炉向け部材など、極限環境下で高い信頼性が求められるエネルギー分野で活用されています。
詳細情報
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チャンバー,抵抗加熱システム,真空ポンプシステム,ガス配送システム,スクラバー,冷却システム,安全検出システムなど、すべてのサブシステムがターンキーソリューションとして提供されます。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| CVD/CVI systems | チャンバー,抵抗加熱システム,真空ポンプシステム,ガス配送システム,スクラバー,冷却システム,安全検出システムなど、すべてのサブシステムがターンキーソリューションとして提供されます。 |
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企業情報
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア
