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最終更新日:2026年11月06日

ITWジャパン株式会社
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最大1000:1の広い制御範囲!超小型設計とEtherNet/IP対応で、研究・評価装置のガス流量制御を効率化

研究開発・評価装置において、低流量から高流量まで幅広い条件でガスを制御したい、装置を小型化したい、機器の設定や保守を効率化したいといった課題はありませんか? ブルックスインスツルメントの新製品「AMFシリーズ」は、最大1000:1の広い制御範囲と超小型設計を両立したマスフローコントローラ/メータです。 1 × 3 × 3インチの小型フットプリント、EtherNet/IP通信、Webインターフェース、診断・アラーム機能を備え、装置設計から立ち上げ、運用・保守まで幅広くサポートします。水素・エネルギー関連技術、CCUS、ガス混合・分析システムなど、さまざまな研究・評価用途に適しています。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・低流量から高流量までの幅広いガス流量制御 ・研究・評価装置の小型化・省スペース化 ・多ガス・多条件の評価試験への柔軟な対応 ・流量機器の設定・立ち上げ作業の効率化 ・診断・アラーム機能を活用した設備保全の効率化 ・再校正頻度の低減による保守負荷・運用コストの削減 研究開発設備の新規設計や既設MFCの更新、ガス流量制御機器の比較検討にぜひご活用ください。

    流量計流量制御計装制御システム
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【新製品】AMFシリーズ|小型・高精度MFC

スクリーンショット 2026-11-06 053623.png
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基本情報

■ AMFシリーズの特長 ・最大1000:1の広い制御範囲:低流量から高流量まで幅広い条件に対応 ・超小型・省スペース設計:1 × 3 × 3インチのフットプリントで装置の小型化を支援 ・高精度・高再現性:精度±0.6% of S.P.(20~100% F.S.)、再現性±0.25% of S.P. ・EtherNet/IP対応:設備ネットワークへの接続とデジタル通信に対応 ・Webインターフェース・USB-Cサービスポート:機器の設定・監視・調整を効率化 ・診断・アラーム・予兆保全機能:機器状態の把握と保守作業をサポート

価格帯

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用途/実績例

■ 主な用途・アプリケーション ・水素・エネルギートランジション技術 ・水素関連プロセスやエネルギー転換技術の研究・評価設備におけるガス流量制御。 ・CCUS(CO₂回収・利用・貯留) ・CO₂処理プロセスの流量制御、ガスフロー制御・モニタリング。 ・ガス混合・分析システム ・ガス混合装置、分析計・試験装置における流量制御。 ・研究開発・評価設備 ・複数のガス種や流量条件を切り替える評価試験、装置の小型化・高密度実装。

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研究・評価装置の『レンジ問題』を、1台で。|AMFシリーズ

研究・評価装置の『レンジ問題』を、1台で。|AMFシリーズ

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【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

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当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

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