本格的なナノインプリント技術開発に最適なX-300です。6インチφ、熱・UVどちらにも対応し、高い再現性が特徴です。
Ｒ＆Ｄからパイロット生産まで対応。すべてのステージで、高品質、低コスト、高い設備生産性を追及しました。 本格的な技術開発に最適なナノインプリント装置Ｘ-300です。 ■□■特徴■□■ ■加工方式：熱式、ＵＶ式 ■加工サイズ：口100mm（熱式φ150mm） ■変位の最小分解能：50nm ■加圧力：常用最大：50kN ■金型平行度調整機構：標準搭載 ■レジスト加工 ・残膜5nm以下でコントロールが可能 ・モールド技術開発により15万ショット耐久性を確認 ■フィルム加工 ・実用化ラインによる製品製造（細胞培養プレート） ・ナノからミクロンまで様々なパターン加工が可能 ■SCIVAX社では、フィルム加工及びレジストによる基板加工への各種ご提案を行っております。 LED、各種光学素子（光学フィルム）、各種電子デバイスに関しまして、 用途に応じた量産プロセスのご提案をさせて頂きます。 その他機能や詳細については、SCIVAX（サイヴァクス）微細加工事業本部（電話：044-599-5051、メール：nil-contact@scivax.com）までお問合せください。
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基本情報
Ｒ＆Ｄからパイロット生産まで対応。すべてのステージで、高品質、低コスト、高い設備生産性を追及しました。 本格的な技術開発に最適なナノインプリント装置Ｘ-300です。 ■□■特徴■□■ ■加工方式：熱式、ＵＶ式 ■加工サイズ：口100mm（熱式φ150mm） ■変位の最小分解能：50nm ■加圧力：常用最大：50kN ■金型平行度調整機構：標準搭載 ■レジスト加工 ・残膜5nm以下でコントロールが可能 ・モールド技術開発により15万ショット耐久性を確認 ■フィルム加工 ・実用化ラインによる製品製造（細胞培養プレート） ・ナノからミクロンまで様々なパターン加工が可能 ■SCIVAX社では、フィルム加工及びレジストによる基板加工への各種ご提案を行っております。 LED、各種光学素子（光学フィルム）、各種電子デバイスに関しまして、 用途に応じた量産プロセスのご提案をさせて頂きます。 その他機能や詳細については、SCIVAX（サイヴァクス）微細加工事業本部（電話：044-599-5051、メール：nil-contact@scivax.com）までお問合せください。
価格情報
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価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
UV・熱可塑・熱硬化、各種ナノインプリント加工 ■用途例■ ■樹脂板材成型 ■レジスト成型加工 ■ガラス材料・成型 ■フィルム成型 ■LED超微細構造形成 ■微細パターン転写
企業情報
安価にナノサイズの微細加工を行うには、装置は勿論のこと、光学設計・金型・材料・ナノインプリント・エッチング・検査といった様々な要素技術が不可欠です。弊社は様々な分野の技術者を擁し、お客様が必要とする各要素技術の提供が可能です。 光学用途や電子用途などのお客様の様々なニーズに対して、一歩も二歩も踏み込んだトータルなサポートを行っております。微細加工、特にナノのウェハ加工をご検討の際は是非ご一報ください。
