自吸真空度の高いノズルの開発と到達点

ルー プ流マイクロバブル発生ノズル特願2008-034846は、2012年5月15日、特許査定となり、21日特許登録の手続きを完了し、特許を取得しました。 「分離出願」について検討していましたが、その必要なしとの結論になり、21日特許登録の手続きを完了しました。 出願から4年かかりました。 誰も同じようなマイクロバブル発生ノズルを作っていませんでした。特許を調べても、インターネットを調べても、ループ流の特徴を最大限に引き出す工夫をしたものはありませんでした。 今年8月、東京大学柏キャンパスでの日本混相流学会の講演会で「ループ流式マイクロバブル発生ノズルの特徴と応用事例」について発表します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 　 　

ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果でコンタミ除去が出来ました。 プレス打ち抜き加工品のコンタミ除去に対しご相談が有りました。問題はバリ取り工程で出たコンタミが製品に強く付着しているもので、洗浄除去装置に通しても落ちないものが有るとのことでした。 中性洗剤を使用しているとのことだったので小型のOKノズルOKE－MB07FJ（20L/min）を使用しました。 500Ｌタンクに中性洗剤が入った洗浄液は最初から白濁していて、マイクロバブルの発生状況が分からないので、エアーの自吸量を変えて実験し、最も洗浄が良い自吸量を選定したところ、ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果が得られました。 今回の洗浄もシャワーリング、ブラッシングによってマイクロバブルが破裂し、その破壊力効果によって剥離洗浄ができているようです。 マイクロバブル発生の方法は、500Ｌタンク内で水中ポンプを使用しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。　 　

吐出量1000ｍL/minのテフロン製のマイクロバブル発生ノズルが完成 ○ノズル撹拌部の真空度が非常に高く、0.3MPaでは95.5％になりま した。 　低圧用で省エネになります。 ○自吸量が非常に多く、吐出量の130％です。 　1000ｍL/minのノズルは自吸量の不連続がありません。 　OKE-MB01FJ、OKE-MB0３FJは水圧0.15MPa近傍で自吸量が不連続になります。 　0.11MPa でエアーの自吸量が吐出量を超えています。 　0.15MPa でエアーの自吸量が１．３L/minです。 ○ジャグジー状態でも、マイクロバブルが発生します。 　非常に細かいマイクロバブルです。 ○このノズルは、超純水を使用した洗浄の実験に使用されています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。