MEMS圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現した検査装置
『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、 MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。 冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3温度各3圧力テストを 30分で行なう事ができます。 また、本冷熱プレート式過熱冷却機構を利用して、圧力以外の温特試験の時間も 大幅に短縮することができます。 【特長】 ■バンププローブの採用により、小さな実装面積を実現 ■3温度各3圧力テストを30分で行なう事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■温度範囲 ・低温範囲：-40～0℃ ・常温範囲：+20～+40 ・高温範囲：+60～+150℃ ■温度分布：±1℃以内 ■圧力範囲(1)：13KPa～120KPa(絶対圧) 圧力ばらつき±0.05KPa以内 ■圧力範囲(2)：1気圧～6気圧 圧力ばらつき±0.02気圧以内 ■計測条件：お打ち合わせにより決定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
弊社は、微々たる力ではありますが、現在のエレクトロニクス・メカトロニクスにとどまらず、 広範な業務の展開を目指すと共に、あくまでも人間が主人公として運営していくシステム創りに 徹した製品を世に送り出してゆくことにより、次代の発展に寄与したいと願っております。