豊富な納入実績を持つ超純水加熱装置の決定版。
『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に貢献。 酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、 その信頼性、品質により業界全般で広く採用されています。 【特長】 ■連続大流量の高純度な温純水供給 ■溶解力の増強 ■乾燥時間の短縮 ■接液部はTeflonとPVDF仕様 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■CDI 920 ■CDI 930 ■CDI 960 ■CDI 990 ■CDI 9120 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
ヒューグルは1969年、半導体産業の創世期に半導体製造装置のワールドリーダーだったアメリカ・ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として、最初のスタートを切りました。そして、この先発の利を生かし、1971年に独自のメーカーとしての基盤を確立。 以来、日進月歩で進化を続ける半導体及びＬＣＤなどフラットパネルの世界で、つねに時代の流れに先駆けて、数々の独創的な 製品を開発・提供してきました。 特にご注目いただきたいのは、あくまでもオリジナリティにこだわり、他があまり手がけない、しかも品質に大きく影響する “ピュアでクリーンな生産環境に関わる機器・装置”に、いち早く着目して専門特化をはかったことです。 ご承知のように、半導体の技術革新は限りない高集積化をめざしており、必然的に生産や検査をめぐる環境には「超」のつく 清浄度と純粋さが求められます。 そこで私たちは“Ｃｌｅａｎ＆Ｑｕａｌｉｔｙ”の理念を前面に掲げ、持てる技術の精緻を究めて、より高度な生産環境を 実現するために、力を尽くしてきたのです。
