超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製マイクロチャンバーです。
超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製マイクロチャンバーです。４組の測定プローブ（探針）は、３軸（X，Y，Z）ステージにより高精度に位置決めが可能であり、ペルチェ素子やマイクロヒーターを組み込み、試料の加熱冷却が可能です。
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基本情報
【特徴】 ○”リークゼロ”の超高真空（１ｘ１０Ｅ-６Ｐａ）対応型マイクロチャンバーです。 ○ＰＩＤ式酸素分圧コントローラー（ＳＴＬａｂ製）との組み合わせにて、極低酸素１～１０Ｅ-30ａｔｍＯ2雰囲気での実験も可能です。 ○各種デバイスやセンサー開発に活躍します。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○試料の加熱冷却 等 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
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企業情報
高機能、低コストを計った新型酸素分圧制御装置、高温超電動デバイス、高温固体燃料電池（SOFC）、携帯電話の開発時に必要なアンテナデータ可視化ソフトや燃料電池試験装置の制御システムを開発提供し、企業や大学における研究開発、また国などに提案採択された開発型委託事業に貢献しております。
