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FS-1040PX / FS-1040PXY

最終更新日:2019年06月03日

シグマ光機株式会社
シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持性が高い位置決めステージ!

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。

    その他検査機器・装置その他顕微鏡・マイクロスコープその他FA機器
Sigmatech_FS-1040PX.jpg

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

Sigmatech_FS-1040PX.jpg
Sigmatech_FS-1040PX.jpg
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最小分解能:10nm 最大移動速度:10mm/sec(FC-511使用時) ストローク:40mm 対応コントローラ:FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

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用途/実績例

フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)マイクロデバイスの位置決め   光学系の光学遅延用ステージ   各種顕微鏡の試料ステージ

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シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。

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