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長ストロークに対応!精密位置決め装置

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FS-3150PX / FS-3150PXY

最終更新日:2019年06月03日

シグマ光機株式会社
シグマ光機株式会社
  • 公式サイト

長距離(150mm)を細かく位置決め可能!『精密位置決め装置(分解能:10nm)』光学分野での研究開発に最適。

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク(150mm)を細かく(10nm単位※)位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ ■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。

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Sigmatech_FS-3150PX.jpg

長ストロークに対応!精密位置決め装置

Sigmatech_FS-3150PX.jpg
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基本情報

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。 自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

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用途/実績例

フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 光学分野ではポンプ-プローブ法を利用した分光顕微鏡などに使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。

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精密位置決めステージ『選定時に知っておきたい Q&A』

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シグマ光機株式会社

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シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。

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