高速制御および長尺計測用のインクリメンタルリニアエンコーダ
■特長 ・大きな取付け公差 ・ステータスLED搭載 ・リミットスイッチ機能 ・コンパクト形状 ・耐環境性に優れたMETALLUR目盛 ・各種取付け方法が選択可能 ■仕様 ・信号周期: 20μm ・精度等級: ±1μm、±3μm、±5μm、±15μm ・推奨分解能: ～0.01μm ・最高走査速度: 600m/min ・測定長: 最長30040mm ・インターフェース: 1Vpp、TTL
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用途／実績例
半導体産業用製造装置および計測機器、リニアモータ搭載機、PCB基板実装装置、各種計測装置
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企業情報
長さや角度を、正確に測定する精密測定機器。ハイデンハインは、その心臓部(リニア・角度・ロータリエンコーダ)を一世紀以上の間、提供し続けています。その精密さ確かさは、わずか100万分の1mm(=1ナノメートル)の精密な長さや、100万分の1度という角度を正確に測定できる超高精度能力です。ハイデンハインの高精度測定技術は、半導体やエレクトロニクス機器、フラットパネルディスプレイ製造・検査装置、医療機器、また各種工作機械や機器、産業ロボット、航空宇宙探査などの宇宙産業、各種研究機関や研究室などにおいて、その実力を存分に発揮しています。
