高精度および長尺計測用のアブソリュートリニアエンコーダ
■特長 ・長いストロークでの絶対位置値測定が可能 ・高い分解能 ・コンパクト形状 ・取付けが簡単で診断機能搭載 ・用途に合わせた各種取付け方法が選択可能 ・各種シリアルインターフェース対応 ■仕様 ・精度等級: ±1μm、±3μm、±5μm、±15μm ・最小分解能: ～1nm ・最高走査速度: 600m/min ・測定長: 最長28440mm ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川
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用途／実績例
半導体産業用製造装置および計測機器、PCB基板実装装置、各種計測装置、リニアモータ搭載機
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企業情報
長さや角度を、正確に測定する精密測定機器。ハイデンハインは、その心臓部(リニア・角度・ロータリエンコーダ)を一世紀以上の間、提供し続けています。その精密さ確かさは、わずか100万分の1mm(=1ナノメートル)の精密な長さや、100万分の1度という角度を正確に測定できる超高精度能力です。ハイデンハインの高精度測定技術は、半導体やエレクトロニクス機器、フラットパネルディスプレイ製造・検査装置、医療機器、また各種工作機械や機器、産業ロボット、航空宇宙探査などの宇宙産業、各種研究機関や研究室などにおいて、その実力を存分に発揮しています。