ナノ精密計測に不可欠な恒温恒湿環境を手軽に供給
角ステンレス鋼にて組立。扉側が全開放のため相違の出し入れが容易。 透明アクリル板または真空ガラスで恒温恒湿状態を最適状態で保ちます。 恒温恒湿給気ユニットが設置できるよう、排気ダクト取付穴を標準装備。
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基本情報
ナノチャンバーは一般の恒温室に設置し、高性能恒温恒湿空気ユニットと使用することによりナノ計測、ナノ加工における温度・湿度変化による素材膨張を抑え、正確な計測・加工を実現することができます。 また、設置環境によってフィルターを選ぶことでクリーン度を上げることも可能です。特にナノを単位とする計測に関しては精密除振台を内部に設置し使用することで外部からの振動を除去し測定機の誤差を最大限に抑え、正確な測定が可能です。 お客様のご希望に合わせたサイズで製作いたします。
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途/実績例
一般恒温室内での精密計測など
企業情報
自動精密位置決めステージをはじめ、自動・手動ステージ、コントローラ、光学実験機器、工作顕微鏡、オートフォーカス顕微鏡まで幅広くみなさまのお役に立つ製品を製造販売しています。