民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応！半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜製造工程に活用できます。
70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。
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基本情報
【特徴】 〇豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能です。 〇他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが可能です。 〇最大φ2inchの基板サイズに対応します。 〇φ2inch対応ランプの採用により広範囲な圧力での実験が可能です。 〇豊富なオプション選択が可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
・半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜を製造する工程 ・国内大手メーカーにおける研究設備での実績多数 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
真空機器のオーダーメイド対応 『お客様仕様に合わせた一貫対応で、最適なソリューションを提供』 ● 真空装置・部品をお客様の用途・要望に応じてフルカスタム設計 ● 商談～設計～製造～納品までワンストップ対応 ● コスト・納期・性能・品質すべてを考慮した最適提案 真空コンポーネントの多品種ラインナップ 『約40種類のコンポーネントを取り揃え、柔軟な構成に対応可能』 ● 真空計、マニピュレータ、導入機、各種ステージ、電流導入端子などを幅広くご用意 メンテナンスサポート 『長期的な運用を見据えたアフターサービスを提供』 ● 装置や部品の定期的なアフターサービスの実施 ● 故障・トラブル予防、部品交換、機器改造などニーズに応じたメンテナンス 製品ラインナップ ・半導体（熱CVD装置、真空アニール装置、スパッタ装置、PLD装置など）・光電子分光（ARPES、XPS、PEEM、HiPP など）・宇宙（スペースチャンバーなど）・コンポーネント（マニュピュレータ、直線導入機/回転導入機、XYステージ、XYZステージ、トランスファロッドなど約40種類）・測定機器（水晶式隔膜真空計など）
