民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応！半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜製造工程に活用できます。
70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。
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基本情報
【特徴】 〇豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能です。 〇他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが可能です。 〇最大φ2inchの基板サイズに対応します。 〇φ2inch対応ランプの採用により広範囲な圧力での実験が可能です。 〇豊富なオプション選択が可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
・半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜を製造する工程 ・国内大手メーカーにおける研究設備での実績多数 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
バキュームプロダクツは真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造いたします。真空システムは成膜装置（PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など）、加速器周辺機器（レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど）や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化いたしました。真空コンポーネントでは、新たに自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに2成分混合気体濃度測定装置を開発し、第一段として小型オゾン濃度計として販売する予定です。
