小型・軽量ボディーで取り付スペースに制約のあるお客様に最適
チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適です。主弁に直動弁を採用し高速、且つ安定した応答性を実現しました。
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基本情報
真空ポンプ対応ユニットVNPタイプ ■□■特徴■□■ ■小型・軽量ボディーで取り付スペースに制約のあるお客様に最適 ■主弁に直動弁を採用し高速、且つ安定した応答性を実現 ■チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適 ■高速、且つ安定した応答性を実現(ON/OFF=5msec以下) 主弁に直動バルブを採用 ■真空破壊時に小型ワークを優しく離脱 ■供給ポートが共通のタイプもラインナップ ■真空破壊エアー流量は、20ｌ/minを確保 ■圧力センサーは、アナログ出力タイプを4種類ご用意 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
価格情報
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企業情報
空圧機器の総合メーカーです。継手（標準継手、特殊環境用継手）・制御機器（流量制御機器、圧力制御機器）・手動弁・チューブ・電磁弁・調質機器・真空機器など、単体からユニットまで１万種を越える製品をラインナップしております。
