半導体産業用ダイヤフラムポンプ
DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用 エア切替 ノンメタル DP-Fi/□/Rシリーズ 【特徴】 ■特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等による タイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなど ノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることで マニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや 薬液循環装置に好適 ■バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに 消耗品の取替えができる ※CMPスラリーには使用できません。 ※詳細は、お問い合わせ下さい。
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企業情報
ヤマダ・ダイアフラムポンプ ■国内生産のダイアフラムポンプメーカーだから出来る ■現場の声に丁寧に応える知識 ■全世界で累積100万台以上導入の実績 集塵機・局所排気装置 ■溶接時に発生するヒュームや粉塵を屋外へ排出 ■粉じん回収/薬品・溶材の臭気の換気に有効な製品もラインナップ。 ■特化則法改正に対応する製品もラインナップ ダイアフラムポンプ、集塵機、局所排気装置をはじめ 株式会社ヤマダコーポレーションでは多種多様な製品を扱っております。 ◇ポンプ製品（ダイアフラムポンプ・ピストンポンプ・サニタリーポンプ） ◇作業環境改善機器（局所排気装置・排気ガス排出システム・ハイバキュームシステム・ホースリール） ◇グリース・オイル機器（グリースガン・ルブリケーション機器） ◇カーメンテナンス機器（カーサービス機器・フロンガス交換・回収機） 総合カタログもございますので是非ご覧ください。