半導体産業用ダイヤフラムポンプ（外部電子制御タイプ）
DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用 電気切替DP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ） 【特徴】 ■半導体プロセス対応モデル ■ポンプに光ファイバー式ストロークセンサーを 内蔵したノンメタル・防爆モデル ■ダイアフラムのストロークエンドを近接センサが検知、 センサー信号を受けたコントローラがセンターエキゾースト型の 3ポジション5ポート電磁弁を制御することにより往復運動を行う ■作動が確実で低ストローク時でも安定した性能を発揮 ※詳細は、お問い合わせ下さい。
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企業情報
ヤマダ・ダイアフラムポンプ ■国内生産のダイアフラムポンプメーカーだから出来る ■現場の声に丁寧に応える知識 ■全世界で累積100万台以上導入の実績 集塵機・局所排気装置 ■溶接時に発生するヒュームや粉塵を屋外へ排出 ■粉じん回収/薬品・溶材の臭気の換気に有効な製品もラインナップ。 ■特化則法改正に対応する製品もラインナップ ダイアフラムポンプ、集塵機、局所排気装置をはじめ 株式会社ヤマダコーポレーションでは多種多様な製品を扱っております。 ◇ポンプ製品（ダイアフラムポンプ・ピストンポンプ・サニタリーポンプ） ◇作業環境改善機器（局所排気装置・排気ガス排出システム・ハイバキュームシステム・ホースリール） ◇グリース・オイル機器（グリースガン・ルブリケーション機器） ◇カーメンテナンス機器（カーサービス機器・フロンガス交換・回収機） 総合カタログもございますので是非ご覧ください。