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顕微鏡オートフォーカス変位計

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最終更新日:2009年10月29日

スリーイメージング株式会社
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顕微鏡オートフォーカス変位計

マシンビジョンシステムや微小マーク検出システムのオートフォーカスに! 【特長】 ・移動しているワークに対して対物レンズが合焦しリアルタイム連続追従 ・AF機能を優先した、小型化、自動化装置に最適な高精度光サーボ方式AF ・観察系の直角鏡筒Cマウントアダプターを用意 ・変位計(オプション)は、ミツトヨ製レーザホロゲージ及びHEIDENHAINのメトロを推奨(変位計なしも対応可能) ・電動ステージ移動量は±4mm、取付治具のステム径が選択可能 ・対物レンズはNikon SLWD 20倍、WD=20.5mm、引込み量は±800mm ・AF再現性は±0.3µm(ガラス面において定点20回測定時(1σでは0.3µm) ※詳細はお問い合わせ下さい。

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顕微鏡オートフォーカス変位計

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マシンビジョンシステムや微小マーク検出システムのオートフォーカスに! 【特長】 ・移動しているワークに対して対物レンズが合焦しリアルタイム連続追従 ・AF機能を優先した、小型化、自動化装置に最適な高精度光サーボ方式AF ・観察系の直角鏡筒Cマウントアダプターを用意 ・変位計(オプション)は、ミツトヨ製レーザホロゲージ及びHEIDENHAINのメトロを推奨(変位計なしも対応可能) ・電動ステージ移動量は±4mm、取付治具のステム径が選択可能 ・対物レンズはNikon SLWD 20倍、WD=20.5mm、引込み量は±800mm ・AF再現性は±0.3µm(ガラス面において定点20回測定時(1σでは0.3µm) ※詳細はお問い合わせ下さい。

価格情報

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用途/実績例

・ピントずれが発生しやすい微小マーク検出システムのオートフォーカス ・表面粗さ測定 ・高さ変動に追随したマシンビジョンシステム

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スリーイメージング株式会社

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