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最終更新日:2010年06月07日

テクニカルビジョン 本社事業所
テクニカルビジョン 本社事業所

半導体用ヒーター

薄型ヒーターを使用していますので、鋳込み等のヒーターよりも薄く、軽くヒータープレートを製造出来ます。 ヒーターの出力についても、自在に設計出来ますので、ご希望のヒーター出力で設計を承ります。

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半導体用ヒーター

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基本情報

半導体製造用ヒータープレート 最高使用温度 250℃ 面内温度分布 ±0.3℃以下

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用途/実績例

半導体Siウェハ乾燥

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テクニカル・ビジョンは、半導体、液晶製造装置用をはじめ様々な分野での、工業用ヒーターを製造しています。 液晶の分野では、G10クラス対応ヒータープレートも取り扱っており、半導体分野でも、15インチ対応型や真空対応ヒータープレートを製造しています。 製造装置の製造、ヒータープレートの設計・製造まで、一貫生産を行っています。 半導体・液晶装置製造の経験から、SUS、アルミの加工も得意としていますので、半導体・液晶分野を問わず、お気軽にお問い合わせ下さい。

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