磁性流体研磨（MRF）装置
Q-flex 100, Q-flex 300, Q22-600, Q22-750, Q22-1200
加工精度及び加工時間を高い確度で予測できるサブアパーチャー研磨装置
MRF装置は, 平面, 球面, 非球面, 自由曲面, シリンドリカル面やプリズムなど, 1台であらゆる形状のワークに対応できます. また, 光学ガラス, 結晶, セラミックスなど広範な材質の加工が可能です. [製品ラインナップ] 1. Q-flexシリーズ（Q-flex 100, Q-flex 300） ・ 回転研磨, ラスター研磨, 自由曲面研磨が可能です. ・ モジュール化により, 交換のダウンタイムが低減できます. 研磨ヘッド, 磁性流体(MR)研磨剤 2. 大型MRF装置（Q22-600, Q22-750, Q22-1200） ・ メータークラスのワークのラスター研磨が可能です. ・ 大きさの異なる研磨ヘッドの交換が可能です. ・ パッド研磨ヘッドの搭載が可能です (Q22-1200).
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基本情報
＊ MRFの原理 磁場により粘度を増した磁性流体(MR)研磨剤とワークとの間の剪断力でワークを研磨します. MR研磨剤とワークとの間に形成される数ミリの”スポット”を研磨ツールとして, ワーク全面を走査することにより高精度な光学表面を実現するサブアパーチャー研磨技術です. スポットにより研磨される量は, スポットの滞留時間に比例するため、滞留時間を精密に制御しながらワーク全面を走査することにより, 所望の研磨加工を実現することができます. ＊ MRFのパフォーマンス MR研磨剤は, 研磨レート, 表面粗さ, ワークの材質の3つの条件から最も適合するものを選ぶことができます.表面粗さは, どのMR研磨剤でも0.4nm rms以下と評価されており, 最も表面粗さに優れたMR研磨剤では, 0.15nm rmsあるいはサブÅオーダーの報告も得られています. また, MRFによる形状精度は, MR研磨剤によらず, おおむね1~3nm rms ということができます.
価格情報
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納期
用途／実績例
精密光学素子（ガラス, 結晶, セラミックスなど）及び金型の仕上げ加工
企業情報
QEDは, ニューヨーク州ロチェスターを本拠とする開発メーカーです. 最先端の研磨技術であるMRFと高精度非球面測定技術であるSSIをコア技術として, 精密光学業界の様々なニーズに応えます. MRFは, 磁性流体を用いて生成された数ミリの研磨ツールで光学表面全面を走査して, 高精度に形状を補正する研磨技術です. ワークの形状や傾きの大小にかかわらず, 光学表面を完全な形状に仕上げます. SSIは, 複数のサブアパーチャーによる干渉測定の結果をつなぎ合わせて, 被検面全面の高精度測定を可能にする干渉計測技術です. 専用のヌル光学系を使わなくても, 非球面や自由曲面の測定が可能です. 1996年の創設から現在にいたるまで, 世界中の100社を超えるユーザーのもとで, 300台を超えるMRF/SSI装置が活用されています.
