パワーエレクトロニクス向け窒化アルミ基板の加工を、一貫して対応致します。
窒化アルミニウム(ALN)基板・λ/10高精度平面研磨 加工
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【特徴】 ●窒化アルミニウム(ALN)基板加工 パワーエレクトロニクス向け窒化アルミ基板の加工を、一貫して対応致します。 ▼加工精度(その他八イスぺックな基板についてもご相談下さい。) ▼ALNボリツシユ面[Ra≦15nm] ●λ/10高精度平面研磨加工 斜入射干渉方式平坦度解析装置、レーザー干渉計により、面精度管理、製品保証を致します。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
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