半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ ・オーバーフロー槽 薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応 ・横型ボート ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート ・縦型プロセスチューブ 半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用 12インチウェハーの登場による大口径化にも対応 ・フィン保温筒 縦型チューブ下部の断熱に使用 不透明石英を使用した製品も製造可能 ●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。
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基本情報
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ ・オーバーフロー槽 薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応 ・横型ボート ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート ・縦型プロセスチューブ 半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用 12インチウェハーの登場による大口径化にも対応 ・フィン保温筒 縦型チューブ下部の断熱に使用 不透明石英を使用した製品も製造可能 ●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○CVD ○拡散用各種炉芯管
企業情報
株式会社フェローテックホールディングスは、「装置関連事業」「太陽電池関連事業」「電子デバイス事業」という製品用途と市場分野に応じた３つの事業セグメントで積極的な事業活動を展開しています。新エネルギー産業およびエレクトロニクス産業では、高品質な製品やサービスを提案し、コスト競争力のある製品やサービスを提供しております。また、地球環境に配慮した活動を積極的に推進することを経営上の重要課題の一つとしており、最新の環境規制要求への適応を順次進め、新エネルギー産業で活用できる素材・製品などを開発し、地球環境問題の解決に貢献しています。株式会社フェローテックホールディングスは、コア技術を活用したものづくりを通して社会に貢献し、顧客、株主、社員、取引先、地域社会などステークホールダーの方々が成長する楽しみを持てる企業であり続けます。
