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『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面

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最終更新日:2020年02月13日

株式会社AndTech
株式会社AndTech
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※9月3日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒42,000円

【講 師】(株)アルバック 半導体電子研究所 第六研究部 部長 門倉 好之 氏 (有)アーステック代表取締役 名古屋大学 客員准教授 小島 啓安 氏 【会 場】総合自治会館 3階 第1会議室 【神奈川・川崎市】 【日 時】平成22年9月14日(火) 13:00〜16:15  

    有機EL真空成形機技術セミナー
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『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面

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基本情報

第1部 スパッタの基礎と装置から見た改善策 1.スパッタリングの基礎 2.スパッタ装置の改善と変遷 3.膜厚分布の改善 4.ステップカバレージの改善  4-1 ステップカバレージの改善要求  4-2 カバレージが必要な理由  4-3 スパッタ方法の改善 【質疑応答 名刺交換】 第2部 反応性高速スパッタおよびカソード技術 1.スパッタの基礎 2.反応性高速スパッタの種類 3.特徴のある各種カソード技術 4.高速スパッタ応用例  4-1 光学薄膜 4-2 有機EL用バリアー膜  4-3 光触媒膜 4-4 ITO膜 4-5 その他 【質疑応答 名刺交換】

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★ターゲット使用による膜厚分布変動! ★光学薄膜、有機EL用バリアー膜、光触媒膜、ITO膜、、、

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弊社は、化学、エレクトロニクス、自動車、エネルギー、医療機器、食品、建材など、幅広い分野のR&Dを担うクライアントのために、「セミナー企画」に始まった事業領域を「講師派遣」「出版企画」「技術コンサルタント派遣」「動向調査」「ビジネスマッチング」「事業開発コンサルティング」といった様々な事業形態(新事業)に展開することで、ここまで企業を発展させ、新たな市場を開拓してきました。AndTechはこれからも、クライアントの声に耳を傾け、クライアントが望む事業領域・市場に進出して、共に悩み、共に考え、共に道を切り拓く企業として、クライアントに愛される意味を見失わないことをお約束いたします。

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