超小型サイズで設置スペースが少ない電源になります！
【真空蒸着用 EB源・電源 NEB-05S型 NEB-05W型】 NEB-05型電源シリーズは、超小型サイズで設置スペースが少ない電源です。 NEB-05S型電源は1電子ビーム源仕様、NEB-05W型電源は2電子ビーム源仕様となっています。 〈特徴〉 ・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！ ・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！ ・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！ ・放電抑制装置を標準搭載！ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【仕様】 最大ビーム出力：5kW 電源：3Φ 200V ±10% 8kVA 加速電圧：-4kV～-6kV リップル率：5％以下 エミッション電流：0～800mA ビームポジション：±15mm(X/Y) ビームスキャン：±15mm(X/Y) オプション±20mm ビームスキャニング周波数：X=50Hz、Y=500Hz 外部制御信号：約15項目 重量：150kg ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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