第三世代の超多層膜用EB制御電源
【真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】 NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。 〈特徴〉 ・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！ ・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！ ・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！ ・放電抑制装置を標準搭載！ ・本体は小型コンパクト設計！ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 最大ビーム出力：10kW 電源：3Φ 200V ±10% 13kVA 加速電圧：-4kV～-10kV リップル率：5％以下 エミッション電流：0～1000mA ビームポジション：±15mm(X/Y) ビームスキャン：±15mm(X/Y) オプション±20mm ビームスキャニング周波数：X=50Hz、Y=500Hz 外部制御信号：約15項目 重量：250kg ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
○詳細はお問合せください
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
-