独立した圧力モニター及びコントロールが可能な、ダウンストリーム圧力制御装置
『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター 及びコントロールが可能。 インコトロールステータス信号の出力、コントローラ異常警報出力 ができます。 【特長】 ■独立した圧力モニター及びコントロールが可能 ■バルブのソフトスタート(スローバキューム) ■ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ■インコトロールステータス信号の出力 ■コントローラ異常警報出力 ■レンジの異なる2個のキャパシタンスマノメーターも接続した 圧力モニター、コントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■本体外形寸法：縦82mm 横199mm 奥行き275mm (突起物を除く) ■フロントパネル：縦88mm 横241mm ■重量：2.9kg ■使用環境温度：0℃～50℃ (但し結露無き事、密閉空間に取り付けない事) ■電源電圧：AC100-220V ±10％ 50/60Hz ■消費電力：最大消費電力 Max.100Watt ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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企業情報
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