RF プラズマ実験装置 RFPC-550
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた プラズマ実験装置のご案内です プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○自動マッチングによる簡単操作 ○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易 ○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備 ○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備 ○オプションでロードロック機構を追加可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた プラズマ実験装置のご案内です プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○自動マッチングによる簡単操作 ○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易 ○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備 ○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備 ○オプションでロードロック機構を追加可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。
